1700℃小型布里奇曼晶体生长炉(Φ60mm刚玉管,不锈钢水冷法兰)
关键字:
Φ60mm、移动机构
型号:
SKJ-BG-1600
安博APP下载(中国)有限公司:
SKJ-BG-1600是一款小型的1650℃布里奇曼单晶生长炉,配有外径Φ60mm刚玉管和精密炉体移动机构(最大行程200mm),此设备设计用于在气氛控制环境下生长小尺寸的金属,氧化物等单晶,也可作为多晶棒定向凝固使用。
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产品特点

·体积小

·立式管式炉可以开启

·电动升降样品台,便于客户取放样品

·坩埚底部有一根测温热电偶,可实时显示坩埚底部温度

·具有恒压控制功能,设定管内压力范围,设备通过PLC控制进气和初期来实现恒压功能

·高纯氧化铝纤维作为炉膛材料,表面涂有氧化铝图层,可提高炉膛加热效率,延长炉膛使用寿命

·双层壳体结构,并带有风冷系统,可保证壳体表面温度较低

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立式高温管式炉

·工作电压208~240VAC 50/60HZ                                                          

·最大功率:3KW

·加热区长度:200mm

·最高加热温度:1650℃

·连续工作温度:1600℃

·两个B型热电偶:一根控温热电偶。一个用于测量坩埚底部热电偶

·加热元件:L型硅钼棒(尺寸:L型热/Φ3/冷6/热180/冷110/间距24)

·炉体外型尺寸长宽高:500*410*430mm

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炉体移动机构

·采用伺服电机+谐波减速器来驱动炉体上下移动

·伺服电机+高精度直线模组保证炉体在移动过程中不卡顿

·炉体移动有慢速提拉和快速移动两种模式

·最大移动行程:200mm

·移动速度范围:0.03mm/hr--30mm/hr(可调,精度+/-1um)

·可根据客户要求来定制炉体移动速度范围


温度控制系统

·包含一款欧陆EPC3000 型温度控制器

·PID自动控温系统

·智能化24段可编程控制

·默认DB9 PC通讯连接端口

·控温精度:±0.5℃

·所有的电气元件都通过UL或MET认可,并可通过世界范围内的其他相关安全测试


不锈钢水冷密封法兰系统

·一套不锈钢水冷密封法兰系统,用于密封刚玉管

·顶部法兰安装有数显真空计和Φ6.35mm出气口

·底部法兰有KF25真空接口和Φ6.35mm的进气口

·底部法兰采用步进电机驱动升降,用于装入和取出坩埚

·设备中配有外径Φ30mm*内径φ25mm*高50mm的石墨坩埚,石墨坩埚内部有放肩角度

·坩埚台安装在底部法兰上


控制面板

·触摸屏控制面板可控制炉体移动速度,移动行程、炉体温度和显示坩埚的温度,也可控制炉管内部气压

·配合加热炉升温曲线设置预提拉时间,例如设置5个小时后开始提拉

·温度曲线功能,实时显示控温曲线和坩埚底部温度曲线,温度曲线数据可以保存记录和导出

·欧陆仪表(Eurothermo)控制加热温区,控温精度+/-0.5℃

·包含两根B型热电偶

   一根热电偶控制温区加热

   一根热电偶用于检测坩埚底部的温度

·坩埚台与底部法兰相互连接

·一个数显真空计和电磁阀安装在密封法兰上,用于控制炉管内气压恒定,控制范围:0.01MPa-0.02MPa

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机械泵

·双极真空泵:VRD-8

·抽速m3/h(L/s) 50HZ:8(2.2)  60HZ:9.6(2.6)

·电源:AC 220V 50/60HZ

·电机功率(KW):0.4

·进排气口连接:KF16/KF25

·用油量(L):0.6-1

·电机转速(rpm):50HZ:1440 60HZ:1720

·工作环境温度:5-40℃

·噪音(dB):≤56

·湿度:≤85%

·每次最大加入泵油量:油位上限Max 的80%处

·配套机械泵,真空度可以达到10-2 ttor

·配套分子泵(选配),真空度可以达到10-5 ttor

·可在本公司选购各种分子泵

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水冷设备

· 型号:CW-5000

· 电源:AC220V 50HZ

· 功率:800W

· 工作电流:1.4-2.1A

· 制冷量:2361Btu/h

· 水箱容量:6L

· 出入水口:外径10mm铜咀

· 水流速度:16L/min

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设备尺寸

· 门关闭尺寸长宽高:1100*1050*2100mm

· 门打开尺寸长宽高:1100*1150*2100mm

质保

一年质保期,终生维护(不包括损耗件,如加热元件,炉管和密封圈等)

重量

约250Kg

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