GSL-1700X-EV4

· 含有四个蒸发坩埚，可镀膜4种不同的物料

· 每个坩埚上方均有挡板，保证了蒸发物料之间不相互污染

· 采用钨丝蓝为发热源，最高温度可到1500度

· 可旋转样品台，保证了薄膜的均匀性

· 电源：AC220V50HZ

· 功率：2.5KW

· 正常工作蒸发电流≤25A（此电流为电流表上的显示电流）

工作温度：

· 最高温度：1500℃

· 连续工作温度：1400℃

· 推荐升温速率：≤2℃/S，温度越高升温越慢

控温系统：

· 宇电30段智能控温仪，可设置30段升降温程序

· PID方式调节温度

· 带有温度上限报警，操过上限温度会切断加热开关，停止加热

· 控温精度:±1度

· 热电偶：4根S型热电偶

· 系统升温模式分为自动和手动模式：自动模式下是由控温仪表按程序

过程进行控温，手动模式是调节电流大小来控温，当前温度仍可由仪表来显示。

· 石英罩：外径φ280*内径φ262*L310mm

· 四个蒸发坩埚：每个蒸发坩埚上配有一个钨丝蓝，容积为3ml

· 四个蒸发坩埚上的物料可依次进行蒸发，不可同时进行

· 四个蒸发坩埚上均带有挡板，每个挡板均由一个电机控制其位置

· 蒸发坩埚内部配备有专门的隔热氧化铝坩埚，热电偶安装在坩埚底部，以便于温度测量和控制。

· 配有装样品的氧化铝坩埚：φ42*36mm

· 真空腔室外有防护网罩

· 基片台：可装载基片最大尺寸为φ50mm。

· 基片台可旋转，保证镀膜的均匀性

· 带一个直径φ6.35mm的卡套接头作为进气口，可通入惰性气体，面板上有微量调节阀可调节进气量大小

· 带一个手动放气阀

· 带水冷管接头，保护测厚仪

· 法兰上可安装测厚仪探头（测厚仪为选配）

· 分子泵FF100/110(带控制器）

· 机械泵 VRD-8

· KF25真空接口

· 真空度：5*10-³Pa（分子泵抽真空1h的数据）

· 机械泵：2Pa（机械泵抽真空30min的数据）

· 如果真空度要求不高可不启动分子泵

· 真空度检测单元：电离规和电阻规

· 显示仪：复合真空计

· 一个精密的石英振动薄膜测厚仪安装在仪器上，可实时监测薄膜的厚度，分辨率为0.10 Å  

· LED显示屏显示，同时也可输入所制作薄膜的相关数据

· 型号：KJ-5000

· 工作电流：1.4-2.1A

· 制冷量：2361Btu/h

· 尺寸：55×28×43cm（长×宽×高）

· 水箱容量：6L

· 水流速率：16L/min

1300长*650宽*1450mm高

约120KG

1年（不包含炉管、O型圈、加热元件等损耗件）