自动进出料快速加热氢气炉系统

1. 可通入纯氢，并且有相关的防护措施与尾气处理

2. 可实现自动法兰开启与推拉料

3. 设备配置有进气电磁阀、电子点火器和探测器，一旦发生气体泄漏，将自动切断进气

4. 尾气燃烧处理，无明火，可自动检测尾气处理是否正常。

5. 可实现快速升降温，通过系统控制与工艺配合实验精确控制。

6. 采用触摸屏操作（纯机械操作可选），数据可导出

最高使用温度 1200度  长期使用温度 1100度

最大升温速率20度/分  最大降温约速率50度/分

加热原件：电阻丝（进口高质量可选）

操作方式：触摸屏配合机械按钮

可放入样品尺寸XXX

外形尺寸：XXX

重量：XXX

根据样品尺寸选择标准加热炉模块

1.材质：高温不锈钢（可选镍基合金不锈钢管） 尺寸：XXXX

2.附带石英内衬，污染后可清洗更换（确保内村在烧结中不想变形）

3.采用无氧铜密封圈（一次性耗材）确保密封

4.炉管可移动（将根据最终方案决定炉管移动或者炉体移动）配备自动降温系统

5.全自动开启法兰

6.配备有炉管防爆网

1. 进气端安装有两路进气系统，一路为保护气体进气，一路为工作气体进气，工作气体进气通过一个浮子流量计和进气电磁阀，当检测系 漏时将自动关闭工作气体进气电磁阀，同时打开保护气体进气电磁阀，往炉管内充入保护气体；

2. 出气端安装有两路出气系统，一路为工作气体出气口，一路为预留出气口。工作气体出气口安装有一浮子流量计，浮子流量计量程0.2 装有一个电子点火器，用于对工作气体进行电子点火

1.控仪表为欧陆3504程序温控仪表

2.PID自动控温系统

3.可存储10段温度曲线（每段曲线可设置500段程序）

恒温控温精度：±0. 1 ℃ ·设有超温报警，以防止人员误操作

面板上有EIA485通讯接口，可以电脑相连接（用电脑控制仪器）

4.确保炉温与实际温度一致，并且提供温区分布参考图（数据）

1. 配有两套氢气探测器在此系统中，一套为固定式，安装在固定支架上面，可以实时监测设备氢气的泄漏情况；一套为便携式，可以随时对 进行监测。

2.  氢气监测范围：1-1000ppm · 工作温度：-20℃——60℃

3. 报警点设置：氢气报警器设置有两个报警，第一级的报警点50ppm，一旦探测到氢气浓度达到此值时，氢气报警器将发出蜂鸣报警声，提 点。第二级的报警点为100ppm，一旦探测到氢气浓度到达此值时，系统自动关闭氢气进气阀。

1. 一个K型(S型可选)的铠装热电偶通过法兰伸入到炉管中，并可随坩埚移动，可实时监测样品的实际温度。

2. 通过步进电机移动炉管内的坩埚（样品台），最大行程为200mm。（根据无杆气缸组件配不同的炉子行程不同，客户可定制行程） · 通过触摸屏设定坩埚一定的距离和目标位置，坩埚移动速度为180mm/min（可根据要求提供变速控制，需要定制速度购买前请与销售沟通   但需额外付费）。

3.  可根据要求提供用于晶片的氮化铝样品架或石墨平板基底支架，将收取额外的定制费

1. 根据实际情况选择标准真空泵，用于实验前洗气

2. 配备防腐真空计

3. 控制集成到整体系统

1. 氢气专用质子流量计与密封

2. 根据客户具体工艺选择相应路数的供气系统

3. 根据最终方案选择集成或者标准产品

4. 控制集成到整体系统