恒压控制系统GZK-PID-VRD24 (科晶实验室、科晶技术部2022.6.15审核）

· PLC、触摸屏控制，触摸屏显示真空度及各项工作状态，一键式操作，方便快捷。

· 通过变频器来PID调节真空泵的电机转速从而控制抽气速率，使抽气速率与进气量、漏气率相匹配，从而达到精确的恒压控制

· 600*600的承重台面，可配合科晶其他设备使用，节省空间

· 型号:VRD-24

· 电源：220V 50/60HZ

· 进气口：KF25

· 抽速：50HZ:6.6L/S

      60HZ:7.9L/S

· 功率：50HZ:1.1KW

      60HZ:0.75KW

· 极限真空：4*10-1Pa（不带负载）

· 输入：AC220V

· 输出：3*AC380V

· 型号：PGC-554  

· 电源：DC24V

· 测量范围：3.8E-5-1125torr

界面上带真空显示值和设定值，一键式操作，方便快捷

压力恒定控制范围(进气气氛为氩气)：

760mtorr（100Pa）-----225torr（30000Pa）（按照进气量为500sccm）

600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照进气量为300sccm）

300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照进气量为100sccm）

180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照进气量为50sccm）

压力恒定控制精度：180mtorr-----2.5torr（±%10）

                  ＞2.5torr-----10torr（±%40）

                  ＞10 torr------200torr（±%5）

600*600*700mm

98KG

1年（不包含炉管，硅胶O型圈和加热元件等损耗件）