· 与传统CVD相比，处理温度更低

· 管式炉炉膛膛材料采用高纯氧化铝纤维，能最大程度减少能量损失

· 是一款质量可靠、价格合理的紧凑型PECVD系统

· 工作温度：1200℃（＜0.5小时） 

· 连续工作温度：1100℃

· 建议加热速率：≦10℃/min

· 加热区长度：400mm 

· 加热元件：电阻丝

· 电压：AC 220V 50Hz 

· 功率：3KW

· 热电偶：K型

· 材质：高纯石英管

· 尺寸：φ50*1400mm

· 可选：φ60*1400mm

         Φ80*1400mm

         Φ100*1400mm

· 标配一套不锈钢真空法兰

· 进气端法兰上安装了一个机械压力表用于观察炉管内的压力，压力表范围-0.1-0.15MPa；一个φ6.35的卡套接头作为进气口使用，并通过一个不锈钢针阀控制进气的通断

· 出气端法兰包含一个φ8mm宝塔气嘴的出气口，并通过一个不锈钢针阀控制出气的通断。一个KF25接口为抽真空接口，用于连接真空系统。一个KF16的接口用于连接电阻真空计。

· 电源：AC220V/50Hz

· 功率：0.55KW

· 极限真空度：5.0*10-1Pa（无负载）

· 抽气速率：3L/s

· 抽气口：KF25接口

· 可选配真空度更高的系统

· 型号：GSL-4Z-LCD

· 质量流量控制器：100SCCM、200SCCM、200SCCM、500SCCM

· 量程可以选配

· 精度：±1.5%FS

· 最大压力：0.3MPa

· 内部连接1/4英寸不锈钢和聚四氟管

· 内置不锈钢混气罐

· 功率输出范围：0-500W

· 功率稳定度：≤±5W

· 射频频率：13.56MHZ

· 自动匹配

· 噪音：≤50dB

· 冷却方式：风冷

1800长*700宽*1150mm高

约120KG

一年质保期，终生维护

· 特别提示：

  1、耗材部分如加热元件、炉管、样品坩埚等不包含在内

  2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内