Mist-CVD系统 GSL-1600X-CVD

·加热炉利用电流使炉内加热元件发热，采用固态继电器进行电路控制，采用温度传感器（热电偶）检测炉内温度，热电偶检测到的温度反馈到控温仪表。

·智能控温仪可设置升温过程（升温速度），仪表采集到热电偶反馈的炉内温度信号，会通过PID调节输出合适的电压信号，固态继电器接收到仪表的输出信号，控制自身的通断时间从而达到调节炉内温度稳定的目的，使得高温炉按照控温仪设置好的升温过程进行升温。

参数：

· 电源：AC220V50HZ

· 功率：5.2KW

工作温度：

· 最高温度：1650度＜1h

· 连续工作温度：≤1600度

· 推荐升温速率：1400度以下：≤10℃/min，1400-1600度：≤5℃/min，1600-1650度：≤2℃/min

· 炉膛尺寸：290*180*170mm（长*宽*高）

温控系统：

· 宇电30段智能控温仪，可设置30段升降温程序

· PID方式调节温度

· 带有温度上限报警，操过上限温度会切断加热开关，停止加热

· 控温精度:±1度

· 热电偶：B型

· 刚玉管：φ40*1200mm（其它尺寸可定制）

一对不锈钢密封法兰，尺寸：φ40

左端法兰：

· 一个φ6.35mm的卡套接头作为进气口使用

· 一个不锈钢截止阀控制进气

· Φ12mm的接口做为雾化气进口，

法兰内部配置一根φ25*680mm刚玉管伸到炉子加热区部分

· 一个量程-0.1—0.15MPa的机械压力表          

右端法兰：

· 一个φ6.35mm的卡套接头作为出气口使用

· 一个不锈钢截止阀控制出气

· 一个KF-25接口做为抽真空接口或连接收集系统    

· 一个安全阀，当压力超过0.02MPa时会自动泄压

·雾化片厚度直径：1.2mm×φ20

·频率：1.7MHz

·工作电压：24V/650mA

·液体罐标配为316不锈钢材质（PTFE及其它材质的罐子可以与销售联系进行定制），并采用氟胶密封圈密封；

·可设置1-5档雾化量，通过调节档位大小，控制雾化量的多少；

·可实现连续运行雾化和定时运行雾化两种功能。定时时间从30分钟到180分钟可调

· 线速度范围：6.1um-120mm/Min

· 注射液体速度：3.9ul-76.5ml/min（按照60ml注射器计算）

· 适用注射器类型：10ul-60ml

· 控制精度：当＞30%满程时，控制误差≤±0.3%

· 注射泵尺寸：260*203*131（mm）

· 型号：CGM-2F

· 浮子流量计的量程：16-160ml/min

· 压力表量程：-0.1-0.15Mpa

· 通气管道： ø6.35mm的聚四氟管

· 外形尺寸：340L×300D×180H，mm

· 重量：6Kg

· 功率：30W

· 电压：0-30KV ,正常工作电压≤15KV  电流：≤1mA

· 电压电流指示：额定输出电压下精度为1%

· 两个KF-25接口

· 一个高压电极接入端

· 一个外径φ12出气口

· 可观察罐子内部情况的石英观察窗口，窗口尺寸：φ35*3mm

· 收集管放在升降平台上，可由升降平台带动收集罐的升降

· 正极和负极筒之间通过PTFE板连接，实现绝缘

· 收料筒最大容积700ml，有效容积150ml

· 型号：VRD-8

· 电源：AC220V/50Hz

· 功率：0.4KW

· 极限真空度：5.0*10-1Pa（无负载）

· 抽气速率：2.2L/s

· 抽气口：KF25接口

管式炉尺寸：670长*490宽*770mm高

雾化装置尺寸：150*150*300mm（长*宽*高）

注射泵尺寸：265*200*150mm（长*宽*高）

约120KG

1年（不包含炉管、O型圈、加热元件等损耗件）

·炉管内的气压不可高于0.02MPa；

·气瓶上必须安装减压阀；

·对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，

  若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开出气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

·我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体，请客户自行做好相关防护和防爆措施。

  由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责。

·由于氧化铝管制作工艺的原因，炉管在烧结过程中会存在断管的风险，这是无法完全避免的，请客户知晓