| 设备名称 | 900℃双温区RTP炉——OTF-1200X-IR-IISL （2019.12.24—科晶实验室审核） |
| 产品提示 | |
| 主要特点 | · 采用短波红外灯管对样品加热，可达到快速加热的效果。 · 双温区快速升温，最高达50℃/s。 · 超大管径φ110mm。 · 最高温度可达900℃。 · 双层壳体结构，并带有风冷系统，可有效降低壳体表面温度。 · 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命。 · 法兰上安装有滑轨可直接推拉操作。 · 开门断电，提高实验安全性。 · 可选装波纹管推拉式伸缩架，样品架可在内部伸缩式波纹管中滑动，实现在真空或受控气氛下实现快速加热或冷却。 |
| 基本参数 | · 工作温度：最高900℃(<10min)；800℃(<30min)；600℃(长期) · 最快升温速率：室温~800℃： 50 ℃/s，800℃~900℃： 10℃/s · 法兰：KF-25D型不锈钢高真空法兰 · 加热元件：16根红外灯管(每根1.5KW) · 最大功率：24KW · 设备电源：AC380V/50HZ 单相 · 循环水流量:0.5 m3/h 更多参数请联系科晶销售部 |
| 真空法兰 | · 不锈钢真空法兰安装在炉管的两端，便于组装，法兰上有1/4英寸直径的通孔，用于插入K型热电偶。 · 法兰端提供多种接头可选，具体请咨询销售。
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| 温控系统 | · 采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序 · 温控仪表中带有过热和断偶保护 · 仪表控温精度: +/- 1°C · 热电偶型号：K型 |
| 开门断电 | · 为保证使用安全，该电炉为开门断电设计
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| 质保 | · 一年保修，终身技术支持。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
科晶实验室对OTF-1200X-4-RTP设备的追温温差和恒温精度做了一系列实验研究，得出以下经验以供参考：
1）升温速率越慢，控温精度越高，升温速率越快，追温温差越大。
升温速率 | 追温温差 | 控温精度（恒温精度） |
1℃/s | < 5℃ | +-0.5℃ |
2℃/s | < 10℃ | +-1℃ |
50℃/s | 温差较大，但30s内恒温 | +-1℃ |
2）570℃以下降温不可控。
降温速率 | 可控温度情况（参考） |
40℃/min | 570℃以上，可控制降温 |
60℃/min | 600℃以上，可控制降温且误差<5℃，600℃-570℃，误差<10℃ |
实验名称：RTP快速升温炉的升温速度与最终温度间的可调关系
实验目的：1、升温速度能否保持恒定；
2、恒温波动是否小于1℃；
3、实现目的：保持一定的升温速度，待到达恒温温度时，升温速度减缓的温度点越接近恒温温度越好。
适用领域：铁磁性材料的制备
实验结果：
100℃/min，到400℃ | 斜率基本恒定；冲温＜1℃；升速减缓点在398℃ |
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100℃/min，到700℃ | 斜率基本恒定；冲温＜1℃；升速减缓点在698℃ |
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400℃/min，到400℃ | 斜率基本恒定；冲温≤1℃；升速减缓点在395℃ |
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400℃/min，到700℃ | 斜率基本恒定；冲温≤1℃；升速减缓点在395℃ |
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300℃/min，到700℃ | 斜率基本恒定；冲温≤1℃；升速减缓点在795℃ |
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600℃/min，到700℃ | 斜率基本恒定；冲温≤2℃；升速减缓点在790℃ |
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以上数据总结，存在调试差异，具体详情请联系合肥科晶实验室 | ||
应用技术提示 | · 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀。 · 进入炉管的气体流量需小于200sccm，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。 · 该设备的长时间使用温度为600℃。 · 降温时请利用程序降温，不建议直接按“STOP”键降温，设备温度未降到室温前不要直接关掉设备电源，防止出现安全问题。 · 在进行化学气相沉积后，石墨烯可从金属催化剂转移到另一个基片衬底上，此法可被广泛应用制备二维材料。通过CVD法生长的石墨烯，表面平整度高且无残渣。 · 此炉可以增加镀SiC的石墨坩埚改造成RTE(快速热蒸发）炉（可查看下方的图片自己制备RTE）
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注意事项 | · 当炉体温度高于200℃时，请一定连接并运行水冷机，防止对设备造成损坏。 · 当炉体温度高于900℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态。 · 炉管内气压不可高于0.02MPa。 · 炉管不建议正压使用，对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）。 |
可选配件 | · 红外灯管为可更换的(图1)，如有需要请安博APP下载（中国）有限公司的销售人员。 · 样品架可选：3"O.D的石墨衬底替代AlN陶瓷片。(图2) · 可选：将含坩埚盖盖规格为87 O.D×71 I.D×12 H mm的石墨坩埚设计三个坩埚架，则可被改造成一个RTE，CSS或HPCVD炉，另外石墨坩埚表面涂有SiC涂层。(图3) · 多种供气系统可选。(图4) · 建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全。（请点击这里学习如何安装减压阀）(图5) · 可选购压力控制模块来监控并保持工作腔室压力稳定。(图6)
图1 图2 图3 图4 图5 图6 |
伸缩式波纹管推拉架 (选配） | · 可改造波纹管推拉式伸缩架，样品架可在内部伸缩式波纹管中滑动，实现在真空或受控气氛下实现快速加热或冷却。
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PC控制(选配） | · 请在购买炉子前，准备一台电脑。 · 可选购MTS-02 控制软件，可在电脑上显示和设定压力和温度程序，以达到远程控制。 · 购买带有PC控制的加热炉，如有疑问请安博APP下载（中国）有限公司的销售人员。
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水冷机(选配） | · 可选购水冷机降低法兰总成温度，避免高温密封硅胶圈融化。
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真空配件(选配） | · 真空可选配件包括真空泵，波纹管和手动挡板阀。
· 对于易损耗件高温硅胶O型密封圈除了标配数量外可进行额外订购。
· 机械真空计（作为设备标配），范围从-0.1到0.15Mpa。 · 可选配防腐型数显真空表，测量范围为3.8×10E -5至1125 Torr之间。除了具有较高的精度和重复性及较短的响应时间外，该仪表还降低了由于气体类型依赖性而造成的气压读数错误从而导致的腔室爆炸风险。
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真空泵组(选配） | 此设备也可以进行抽真空，配合本公司生产的真空泵组
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