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AlN晶体
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- AlN单晶衬底是一种具有特殊性能的宽禁带半导体材料
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
| 产品名称 |
AlN晶体 |
| 技术参数 |
晶体结构： | 六方晶系 | 晶格常数： | a=3.112Å； C=4.982Å | 密度： | 3.23g/cm3 | 热导率： | 285W/mk | 可用区域： | > 80％ | EPD： | <1E5 cm-2 | 吸收系数： | <80 cm-1 |
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| 产品规格 |
常规晶向： | C平面（0001 | 晶向公差： | ±1° | 常规尺寸： | 10x10x0.45mm±50μm、5x5x0.45mm±50μm | 抛光情况： | 双抛 | 抛光面粗糙度： | Al面：CMP抛光（RMS<0.8nm） N面：光学抛光（RMS <3nm） |
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| 摇摆曲线图 |
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