悬浮提拉晶体生长炉
关键字:
提拉法
型号:
SKJ-LCZ
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SKJ-LCZ是一款特殊的提拉法(CZ)晶体生长炉(采用悬浮熔炼对金属样品熔化,最高温度可达2000℃)。此系统采用组成:高频感应加热电源,高真空腔体,水冷铜坩埚(悬浮熔炼)和精密提拉机构。悬浮熔炼避免了坩埚的污染,可得到高纯度的金属(合金)单晶。
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视频

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      安装操作视频

设备结构

·40KW感应加热电源,用于悬浮熔炼


·特殊设计水冷铜坩埚,可熔炼60g样品

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·高真空腔体,真空度可达10-6torr(采用分子泵系统)

 

·精密可旋转(籽晶杆可旋转)提拉机构,提拉速度为0.1mm/h-24mm/h


感应加热电源

·最大功率:40KW

 

·频率 :80-200KHz

 

·电流:10-100A

 

·电压:  380V +/-10% , 三相, 50/60Hz

 

·水冷却水压 ≧0.2MPa  水流量:  ≧10L/min


水冷铜坩埚

·坩埚尺寸Φ35mm* 60mm

 

·熔炼量最大 60g 

 

·需冷却水流量:  58L/min


提拉机构

·提拉速度:  0.1-24mm/h 

 

·籽晶杆转速:  0.03-50r/min

 

·最大提拉行程: 250 mm

 

·可快速手动提拉

 

·提拉杆内部有水冷却


真空腔体&真空泵

·采用SS304不锈钢腔体,带有水冷夹层

 

·腔体尺寸: Φ400x 40 D mm

 

·石英窗口: Φ300mm

 

·真空度:  10-6 Torr (采用分子泵系统)

 

·真空泵分子泵体统,抽气速率700L/S


循环水冷机

·设备所需冷却水流量≧110L/min

 

·可在本公司选购循环水冷机


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