Si片承载器
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PFA材质
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硅片承载器均以PFA树脂为原料制造而成。具有以上特点:耐强酸,强碱的腐蚀,不被极性很强的有机溶剂所溶胀,质地柔软,不损伤硅片,不粘污硅片,并与国外同类制品有良好的互换性,可在250℃各种介质中长期使用。与承载器相配的  还有单梁2",3"PFA提把,双梁2"、2.5"、3"、4"、5"PFA提把。
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产品名称

Si片承载器(PFA材质,又称清洗花篮)


产品简介

硅片承载器均以PFA树脂为原料制造而成。具有以上特点:耐强酸,强碱的腐蚀,不被极性很强的有机溶剂所溶胀,质地柔软,不损伤硅片,不粘污硅片,并与国外同类制品有良好的互换性,可在250℃各种介质中长期使用。与承载器相配的  还有单梁2",3"PFA提把,双梁2"、2.5"、3"、4"、5"PFA提把。


产品规格

规格

容量/片

外型尺寸mm

(长×宽×高)

用途

备注

50mm(2英寸)

25

142.2×68.1×58.7

用于机械及手工清洗硅片

配用PFA单梁、双梁提把

63mm(2.5英寸)

25

142.2×79.2×73.2

76mm(3英寸)

25

142.2×93.7×82.6

76mm(3英寸)

32

142.2×93.7×82.6

100mm(4英寸)

25

142.2×125.5×114.3

125mm(5英寸)

25

143.3×152.4×146.1


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